MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監控，氣體純度和組成分 析，環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發現MKS MultiGas 6030操作簡便，易于維護。

特點和優點

? 10ppb-靈敏度對于絕大多數有毒有害氣體

? 易于移動從一處移到另一處，設置僅需幾分鐘

? 同時分析和顯示多達30種氣體

? 分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

? 保護的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

? 頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

? 用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件，它能同時分析和報道許多混合 物的濃度，這個能在個人電腦上運行的軟件， 能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一 秒內完成，進行瞬時分析。

整個數據整理過程中，MultiGas 軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光 譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差， 使得QA/QC變得簡單和真實。當解決了所有 被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的" 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這 些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零 點設定進行再工藝。

對應環境和工藝監控的特殊設計，2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中較快速，靈敏和穩定的！另外，它能在在惡劣環境下操作，具有對高溫，振動和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數據處理系統是 標準的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的氣室，這個氣室的設計結合了非球面的， 非端正的鏡子，它能為傳統的多變換氣室提供兩倍光學吞吐量。做為選擇，一個單變換 的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收 率的氣體，任何一種氣室在環境溫度到 191℃之間操作。

儀器的自主校準

MultiGas 的軟件有多點校準圖，能提供 一個動態的范圍至10-9的的數量級.許多核數的校準都由其提供，另外，用戶也可以通過 已知的濃度來進行校準。MultiGas 軟件檢驗每個工具的性能的效用，使它能把一個已經 在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺機器上，而且不用變更。

MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀規格

分析儀主機

分析儀采樣參數

分析儀氣體室

檢測極限